在激光汽化切割过程中，利用高能量、高密度的激光束加热工件，使温度升高，材料在短时间内蒸发成蒸汽。当这些蒸汽喷出时，材料上会形成一个切口，从而达到切割效果。

  但是一般材料蒸发的热量很大，所以材料表面温度上升到沸点温度的速度这么快，足以避免热传导引起的熔化，所以有些材料蒸发成蒸汽消失，有些材料作为喷射物从缝底被辅助气流吹走。在这种情况下，激光功率需要很高。

  为了防止材料蒸汽凝结在接缝墙上，材料的厚度不得大大超过激光束的直径。因此，该加工只适用于必须避免熔化材料的应用。

  激光汽化切割使用的材料一般包括极薄的金属材料和非金属材料。在激光切割厚板的情况下，大切割速度与材料的气化温度相反。所需的激光功率密度应大于108W/cm2，并取决于材料。切割深度和光束焦点位置。在板厚一定的情况下，假设有足够的激光功率，切割速度受气体射流速度的限制。